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真空設備展覽
點擊次數:1508 更新時間:2015-04-04 返回

                              真空設備展覽

                        上海申弘閥門有限公司
     在真空系統中,用來改變氣流方向,調節氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。上海申弘閥門有限公司主營閥門有:截止閥,電動截止閥,氣動截止閥,電動蝶閥,氣動蝶閥,電動球閥,氣動球閥,電動閘閥,氣動閘閥,電動調節閥,氣動調節閥,減壓閥水力控制閥真空閥門、襯膠閥門、襯氟閥門。 
     真空閥門在真空系統中的作用是: 
     (1)開關氣路 如圖1所示,當閥1和閥4關閉,閥2打開時,機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經預真空抽氣管路;當閥2關閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真 空;當閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經擴散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關氣路,改變氣流的流經 路線。 
     (2)控制氣流大小,調節真空度在圖1中,調節閥1的閥蓋開啟角度,即可調節流經管路的氣流量大小;關閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。      

    (3)定量充氣如圖2所示,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當它轉向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。 
     真空閥門的種類繁多,通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類,其分類見表1。 
     真空閥門的型號編制方法國家專業標準作了規定,可查閱有關標準。 
1. 真空獲得設備;旋片真空泵、油擴散泵、羅茨真空泵、油增壓泵、渦輪分子泵、鈦升華泵;
2. 真空應用設備:各種真空冶金設備與熱處理設備、真空電鍍設備、真空包裝設備等;     
3. 真空鍍膜設備:包括各種靶、靶材、消耗材料及各種電源;真空鍍膜加工
4. 納米科技與裝備、納米材料與納米器件
5. 真空閥門及真空零部件:包括各種真空電子元器件、真空系統附件及真空動、靜密封器件等;
6. 真空測量與校準儀器、儀表及真空檢漏儀器;
7. 真空材料、真空泵油及真空工程配套設備;
8. 各種表面儀器(AES、SEM、XPS、SIMS等)及分子束外延設備(MBE)

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